Obsah:
- Definice - Co znamená extrémní ultrafialová litografie (EUVL)?
- Techopedia vysvětluje extrémní ultrafialovou litografii (EUVL)
Definice - Co znamená extrémní ultrafialová litografie (EUVL)?
Extrémní ultrafialová litografie (EUVL) je pokročilá, vysoce přesná litografická technika, která umožňuje výrobu mikročipů s dostatečně malými funkcemi, které podporují rychlosti hodin 10 GHz.
EUVL využívá super-nabitý xenonový plyn, který emituje ultrafialové světlo, a používá velmi přesná mikrovrcátka k zaostření světla na křemíkový oplatek, aby se dosáhlo ještě jemnějších šířek prvků.
Techopedia vysvětluje extrémní ultrafialovou litografii (EUVL)
Naproti tomu technologie EUVL používá ultrafialový světelný zdroj a čočky pro zaostření světla. To není tak přesné z důvodu omezení čoček.
Proces EUVL je následující:
- Laser je zaměřen na xenonový plyn, který jej zahřívá a vytváří plazmu.
- Plazma vyzařuje světlo na 13 nanometrů.
- Světlo je shromážděno v kondenzátoru a poté nasměrováno na masku, která obsahuje rozložení desky plošných spojů. Maska je ve skutečnosti pouze vzorová reprezentace jedné vrstvy čipu. To je vytvořeno nanesením absorbéru na některé části zrcadla, ale nikoli na jiné části, čímž se vytvoří vzorec obvodu.
- Vzor masky se odráží na řadě čtyř až šesti zrcadel, která se postupně zmenšují, aby zmenšila velikost obrazu, než se zaměří do křemíkové destičky. Zrcadlo mírně ohýbá světlo, aby vytvořilo obraz, podobně jako to, jak sada objektivů fotoaparátu pracuje, aby ohýbala světlo a dala obraz na film.
